主泵对真空系统被抽容器直接进行抽真空,以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵,超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。
前级泵用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵,高真空泵高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。
粗抽泵从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵,粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指从大气开始,降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。来源:http://www.sdlyyqby.com